उच्च गति, लंबी यात्रा लंबाई संचालन के दौरान फ्लैट केबलों को उछलने से रोकता है
केबल कैरियर (CABLEVEYOR)
अवलोकन
装置の高速・長ストローク化によりフラットケーブルが跳ね上がる事象が発生。e-PTFE製ポッドにケーブル・チューブの収納、保護が可能なクリーンベヤを採用したことで、フラットケーブル跳ね上がりの対策および更なるクリーン環境を実現しました。
समस्या
半導体製造装置の処理室内で従来から使用していたフラットケーブルでは、装置の高速化・長ストローク化により跳ね上がる事象が発生することで、フラットケーブルが装置内の天井とぶつかるリスクがありました。これが発塵や断線に繋がるおそれがあるため、安定した動作を実現できるケーブルシステムが必要でした。またウエハの処理には微細な発塵でも歩留まり悪化の恐れがあるため、最高クラスのクリーンクラス実現が求められていました。
अपनाए गए उत्पाद
ケーブルベヤ クリーンベヤ
यह त्सुबाकी केबल कैरियर (CABLEVEYOR) में सबसे कम धूल उत्पन्न करने वाली केबल प्रणाली है।
यह आईएसओ श्रेणी 1 स्वच्छता प्राप्त करता है और स्वच्छ कमरों में उपयोग के लिए आदर्श है।
इसमें 36dB(A) से कम का निम्न शोर स्तर और 10 मिलियन से अधिक बार मोड़ने की लंबी जीवन अवधि है।
हम यूरोपीय RoHS II निर्देश द्वारा निर्धारित सीमा से अधिक किसी भी विशिष्ट खतरनाक पदार्थ का उपयोग नहीं करते हैं। (ग्राहक द्वारा आपूर्ति किए गए केबल और ट्यूब इसमें शामिल नहीं हैं)
उत्पाद को अपनाने के लाभ
採用したクリーンベヤは内蔵するサポートメンバが走行時のケーブル挙動を安定化するガイドの役割を果たすため、高速・長ストロークでもスムーズで静粛な動作が実現可能。e-PTFE製ポッドへのケーブル内包と自立によりつばきのケーブルシステムで最もクリーンなクリーンベヤは、処理室内の清浄度を維持することもでき、ウエハの上部で使用する用途においても安心して使用することができています。
त्सुबाकी आपकी किसी भी समस्या को सुलझाने में आपकी पूरी सहायता करेगा।
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