सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरणों में धूल की रोकथाम एक प्रमुख मुद्दा है। परंपरागत रूप से, प्लास्टिक श्रृंखला में सबसे स्वच्छ ओपन टाइप माने जाने वाले टीकेआर प्रकार का उपयोग किया जाता था, लेकिन चूंकि यह वेफर के ऊपर काम करता है, इसलिए धूल उत्पादन में और कमी की आवश्यकता थी।

当初、クリーン度の向上が可能なことに加えTKR形と同じようにケーブル・チューブの挿入がユーザー側で可能なフラットベヤZP仕様の採用を検討しましたが、当該装置の量産の計画もあったことからフラットベヤの採用としました。ケーブル・チューブが溶着された状態で一式納入されるモデルのため、そのまま装置に取り付けるだけとなりクリーン度の向上だけでなく装置への組み付け工数が大幅に削減できました。